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  • [公司新闻] 高纯特种气体的概念及供气系统

    近20年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯特种气体洁净度的要求,已不亚于对纯度和干燥度的要求,凡工艺气体,无一不对其中的粒子提出限制。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用
    发布时间:2018-09-27   点击次数:22

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